Wat is Atomic Layer Deposition (ALD)?
ALD of Atomic Layer Deposition, een subklasse van Chemical Vapour Deposition, is gebaseerd op het gebruik van een chemisch proces in de gasfase. De meeste ALD-reacties maken gebruik van twee chemicaliën: precursoren of reagentia. Deze reageren één voor één, sequentieel, op het oppervlak van een materiaal. Een dunne film wordt langzaam afgezet door herhaalde blootstelling aan afzonderlijke reagentia.
Tijdens de atoomlaagdepositie wordt het oppervlak van een film, die op een substraat wordt ontwikkeld, blootgesteld aan de reagentia. Deze precursoren worden zonder overlap ingebracht in een reeks sequentiële pulsen. De reactieve moleculen reageren met het oppervlak in elk van de pulsen, zodat de reactie voltooid is zodra alle reactieve plaatsen op het oppervlak zijn verbruikt.
De aard van de interactie tussen het oppervlak en de precursor bepaalt de maximale hoeveelheid materiaal die wordt afgezet na blootstelling aan alle precursoren, een zogenaamde ALD-cyclus. Door het aantal cycli te variëren, is het mogelijk om materialen uniform en met hoge precisie te laten groeien op grote en complexe substraten.
Molecular Layer Deposition, MLD, is de zustertechniek van ALD. Het wordt toegepast wanneer organische precursoren worden gebruikt. De combinatie van de twee technieken, ALD/MLD, maakt de productie mogelijk van hybride films met een hoge zuiverheid die geschikt zijn voor een breed scala aan toepassingen.
Handschoenenkasten voor organische elektronica
Jacomex is een toonaangevende fabrikant van containmentoplossingen. Wij bieden ook apparatuur aan voor ALD. De hieronder beschreven apparatuur kan in een handschoenenkast worden geïntegreerd. Het maakt de depositie mogelijk, laag voor laag, van Nb 2O5, NiO, SiO2, SnO2, TiO2, MgO, ZnO, Al2O3.
Het is uitgerust met een extern frame waardoor het met een roestvrijstalen flens in de handschoenenkast kan worden geïntegreerd. Het kan aan één zijde, aan de achterkant van de handschoenenkast of op de vloer worden geplaatst. Het is compatibel met de meeste modellen handschoenenkasten, mits er een geschikte interface aanwezig is.
Jacomex, onze experts tot uw dienst
Jacomex is gespecialiseerd in het ontwerp en de fabricage van handschoenenkasten uitgerust met gasreinigers. Deze apparatuur maakt de fabricage, karakterisering en het testen van organische componenten mogelijk, zoals fotovoltaïsche cellen (OPV), lichtemitterende diodes, fotodetectoren, organische halfgeleiders of biosensoren.
De ingenieurs van onze afdeling onderzoek, ontwikkeling en innovatie richten hun inspanningen op het aanbieden van steeds meer innovatieve oplossingen. Onze apparatuur voor onderzoek en industrie wordt volledig ontwikkeld en geproduceerd in Lyon. Wij hebben onze oplossingen verkocht en geïnstalleerd in meer dan 60 landen en in uiteenlopende sectoren zoals nucleair, onderzoek, farmacie, medisch, additieve productie, energie en organische elektronica.